在高端制造领域，如半导体光刻、激光器填充、超临界流体萃取及食品级惰性保护等应用场景中，高纯二氧化碳（纯度≥99.99%）的品质直接关系到工艺稳定性与产品良率。

其中，氧气作为强氧化性杂质，即使在ppm（10⁻⁶）甚至ppb（10⁻⁹）级别，也可能引发材料氧化、催化剂中毒或系统腐蚀。

因此，GB/T 23938—2021《高纯二氧化碳》国家标准对氧气含量设定了严格限值：99.99%级≤10 ppm，99.995%级≤5 ppm，最高纯度99.999%级则要求≤1 ppm。

根据标准第7.2条，氧气含量的测定应优先执行GB/T 6285《气体中微量氧的测定 电化学法》。该方法基于电化学传感器原理，通过氧在阴极还原产生电流信号，实现定量分析。

其优势在于响应速度快（通常<30秒）、操作简便、成本较低，适用于生产现场的快速质量控制。然而，电化学传感器存在寿命限制（通常6–12个月），且易受CO₂高浓度背景干扰，长期稳定性需依赖频繁校准。

对于超高纯（99.999%）等级产品，标准允许采用GB/T 28726《气体分析 氦离子化气相色谱法》（HID-GC）进行测定，前提是配备氧/氩专用分离色谱柱。

HID检测器具有极高的灵敏度（可达0.1 ppb）和宽动态范围，能有效分离CO₂基体中的痕量O₂，避免交叉响应。该方法虽设备成本高、操作复杂，但数据可靠性强，特别适用于第三方检测或仲裁分析。

值得注意的是，标准明确规定：当检测结果存在争议时，以GB/T 6285方法为仲裁依据。这意味着实验室在建立检测体系时，必须同步验证两种方法的一致性，

并严格控制采样环节——包括使用EP级钝化不锈钢管线、避免橡胶密封件、采样前充分吹扫系统（≥3倍体积）等。

综上，氧气检测不仅是技术问题，更是质量控制体系的关键环节。唯有深入理解标准逻辑、合理选择方法、严控操作细节，方能确保高纯二氧化碳在尖端应用中的安全与效能。