水分是影响氧气使用安全性和适用性的重要杂质之一。在不同应用场景下，对氧气中水分含量的控制要求存在显著差异。

国家标准 GB/T 3863—2008《工业氧》与 GB/T 14599—2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》分别针对不同纯度等级的氧气设定了相应的水分控制指标，并规定了适用的检测方法。

对于工业氧，标准仅要求“无游离水”，即不允许存在液态水。其检测方法较为简便：将室温下的瓶装氧气瓶垂直倒置约10分钟，随后微开瓶阀，若无液态水流出，则视为合格。

该方法适用于现场快速判断，但无法量化微量水分。对于管道输送的工业氧，可在管道底部设置采样点，同样以无游离水流出为判定依据。值得注意的是，液态工业氧不进行游离水检测。

相比之下，高纯度氧气对水分的控制更为严格。GB/T 14599 规定：纯氧中水分含量不超过3×10⁻⁶（体积分数），高纯氧不超过2×10⁻⁶，而超纯氧则要求控制在0.5×10⁻⁶以内。

为实现如此高精度的检测，标准明确引用 GB 5832.2《气体中微量水分的测定 露点法》作为检测依据。

露点法通过冷却镜面使气体中的水蒸气冷凝，测得露点温度后，结合气体压力换算为水分体积浓度（通常以 ppmv 表示）。该方法灵敏度高、重复性好，可满足超纯氧对痕量水分的检测需求。

在实际操作中，需使用经过干燥处理的金属采样管线，避免环境湿气干扰；同时应确保仪器定期校准，以维持测量准确性。

在半导体制造、医疗供氧等对气体洁净度要求较高的领域，微量水分可能导致设备腐蚀、催化剂失活或产品污染。因此，建立科学的水分检测程序，结合定期维护干燥系统，是保障高纯氧气质量的重要措施。