纯氦气（He）是一种无色、无味、无毒的惰性气体，广泛应用于半导体制造、医疗、科研和焊接等领域。由于其化学性质极其稳定，氦气中的杂质检测显得尤为重要，以确保其纯度满足特定应用的需求。 氦气中常见杂质 在高纯度氦气中，常见的杂质包括：

　　1. 氧气和氮气 ：这些是主要的非活性气体杂质。

　　2. 氢气和甲  ：来自生产或储存过程中的污染。

　　3. 二氧化碳 ：通常来源于空气泄漏或工艺污染。

　　4. 水分 ：导致设备腐蚀或影响某些工艺。

　　5. 其他微量元素 ：如氩气（Ar）、氖气（Ne）等。 检测方法 为了准确检测氦气中的杂质含量，可以采用以下方法：

　　1. 气相色谱法（GC） 原理 ：利用不同气体组分在固定相和流动相之间的分配系数差异进行分离，并通过检测器定量分析。 优点 ：灵敏度高、选择性强，适合检测多种杂质。 适用范围 ：适用于氧气、氮气、氢气、甲 等气体杂质的检测。

　　2. 质谱仪（MS） 原理 ：通过质谱仪对气体分子进行质量分析，确定各组分的质量数和相对丰度。 优点 ：检测范围广、精度高，能够检测痕量杂质。 适用范围 ：特别适用于检测低浓度的杂质，如水分、氢气等。

　　3. 露点仪（湿度测量） 原理 ：通过测量气体中的水蒸气分压来计算露点温度。 优点 ：快速、直接，适合检测水分含量。 适用范围 ：专门用于检测氦气中的水分。

　　4. 红外光谱法（FTIR） 原理 ：利用气体分子吸收特定波长红外光的特性，通过光谱分析确定气体成分。 优点 ：能够同时检测多种气体杂质。 适用范围 ：适合检测二氧化碳、 等含碳化合物。

　　5. 激光拉曼光谱法 原理 ：利用激光照射气体样品，通过散射光的频率变化来识别气体种类。 优点 ：灵敏度高、非接触式检测。 适用范围 ：适合检测微量气体杂质。

　　6. 吸附法 原理 ：通过特定吸附剂（如活性炭、分子筛）吸附杂质气体，然后通过称重或其他方法测定吸附量。 优点 ：操作简单，适合粗略检测。 适用范围 ：适用于初步筛选或低要求场合。 检测标准 国际上常用的氦气纯度标准包括： ISO 3233 1:2017 ：气体纯度分类标准。 AS D2552/D2552M 19 ：高纯气体分析方法标准。 GB/T 8979 2008 ：中国工业用高纯氦气标准。 注意事项

　　1. 样品采集时需避免外界污染，使用专用采样袋或钢瓶。

　　2. 不同检测方法需要不同的前处理步骤，脱水、脱氧等。

　　3. 检测结果应结合实际应用场景，选择合适的纯度指标。 通过以上方法和标准，可以有效检测并控制氦气中的杂质含量，确保其满足特定用途的要求。