氦检漏的核心原理是通过氦气作为示踪气体，利用质谱分析技术检测其泄漏信号，从而定位漏点并量化泄漏程度。具体流程如下：
示踪气体选择
氦气因分子量小、扩散快、惰性强、本底浓度低等特性，成为理想的示踪气体。
泄漏信号检测
离子化：泄漏的氦气进入质谱仪后，被电子束轰击形成氦离子。
加速与分离：离子在电磁场中加速，通过磁场偏转实现质量筛选，仅氦离子（特定质荷比）能到达检测器。
信号转化：氦离子产生的微电流经放大处理，转化为可识别的漏率信号，与泄漏量成正比。
检测模式
真空检漏（负压）：向密封腔体外喷射氦气，检测内部是否出现氦信号。
正压检漏：向被测件内部充氦，外部用探头检测泄漏。
背压法：将被测件置于高压氦环境，通过真空抽吸释放内部吸附的氦气进行检测。
该技术广泛应用于真空镀膜机、半导体外延设备、航天器密封舱等高精度场景
