六氟化硫（SF₆）在高温分解或与特定物质发生化学反应时会产生剧毒物质‌。以下是主要产生毒性的情况：

高温电弧分解

当SF₆暴露于高温电弧（如电气设备中）时，会分解生成‌氟化亚硫酰（SOF₂）、四氟化硫（SF₄）‌等有毒气体。这些物质对呼吸道和黏膜有强刺激性，可能导致肺水肿或窒息。‌

与水分反应

SF₆分解物（如SF₄）与水反应生成‌氢氟酸（HF）、二氧化硫（SO₂）‌等酸性物质，进一步腐蚀设备并危害人体。‌

与金属/电极材料反应

与铜、铝等金属或电极材料反应，产生‌氟化铝（AlF₃）、氟化铜（CuF₂）‌等固态有毒粉末。‌

与绝缘材料反应

与含硅绝缘材料（如环氧树脂、硅橡胶）反应，生成‌四氟化硅（SiF₄）‌等有毒气体。

气体不纯或泄漏

若出厂时含杂质（如低氟化硫、氟化氢），或设备泄漏导致空气中SF₆浓度过高（>6g/m³），可能直接引发窒息或慢性中毒。‌

‌安全建议‌：使用SF₆时需确保设备密封性、控制环境湿度（<15μg/g），并配备呼吸防护装备。定期检测气体纯度和分解产物，避免在高温电弧环境中长时间暴露。‌