特气管路五项测试包括保压测试、氦检漏测试、颗粒含量测试、水分含量测试和氧含量测试。

这些测试旨在评估管道的密封性、气体纯度及系统稳定性，确保其符合设计规范和安全标准。  

 1. 保压测试  

目的：检测管道系统在高压条件下的密封性，确保无泄漏点。  

方法：  

 将管道系统加压至设计压力的1.15倍，保持24小时。  

 观察压力表，记录压降情况。若压降超过允许范围（通常≤1%），需排查漏点并重新测试。  

工具：压力表、记录器。  

注意事项：测试过程中需考虑温度变化对压力的影响，并进行修正计算。  

 2. 氦检漏测试  

目的：检测微小漏点，确保管道系统的气密性。  

方法：  

 使用氦质谱检漏仪，将管道抽至真空状态。  

 在焊道和接头处喷吹氦气，观察检漏仪读数。漏率通常要求≤1×10⁻⁹ cc.atm/sec。  

工具：氦质谱检漏仪。  

注意事项：测试完成后需对管道进行充压，防止负压吸入杂质。  

 3. 颗粒含量测试  

目的：检测管道内颗粒物的数量和大小，确保气体纯度。  

方法：  

 使用颗粒计数器，通过激光照射气体样本，统计颗粒数量。  

 测试标准通常为0.1μm颗粒≤5个，更大颗粒为0。  

工具：颗粒计数器。  

注意事项：测试前需对管道进行长时间吹扫，确保无残留颗粒。  

 4. 水分含量测试  

目的：检测管道内水分的含量，防止水分对气体质量的影响。  

方法：  

 使用水分分析仪，通过吹扫气体并测量水分浓度。  

 测试标准通常为≤10ppb。  

工具：水分分析仪。  

注意事项：测试前需对管道进行长时间吹扫，确保无残留水分。  

 5. 氧含量测试  

目的：检测管道内氧气的含量，防止氧气对气体质量和设备的影响。  

方法：  

 使用氧分仪，测量气体中的氧气浓度。  

 测试标准通常为≤10ppb。  

工具：氧分仪。  

注意事项：测试前需确保气体源和管道系统的清洁度。  

 五项测试的重要性  

1. 保障安全：通过保压和氦检漏测试，确保管道系统无泄漏，防止气体泄漏引发的安全事故。  

2. 提高气体质量：颗粒、水分和氧含量测试确保气体纯度，满足高精度生产工艺的需求。  

3. 延长设备寿命：通过控制氧气和水分含量，防止管道腐蚀和设备损坏。  

4. 符合行业标准：五项测试是半导体、化工等行业的强制性要求，确保管道系统符合国际标准。