电子工业用气体 氢气

GB/T 16942-2009

氢气纯度、氮、氧、CO、CO2、总烃、水分、总杂质含量、颗粒

各种金属元素检测、氟离子、氯离子、硝酸根离子、硫酸根离子、溴离子、碘离子、氰化氢含量等，以及ppb级别的水含量、氧含量、0.1μm的固体颗粒

电子工业用气体 氧气

GB/T 14604-2009

氧气纯度、氢、氩、氮、CO、CO2、总烃、一氧化氮、二氧化氮、氪、水分、总杂质（稀有气体）含量、颗粒

电子工业用气体 氮气

GB/T 16944-2009

氮气纯度、氢、氧、CO、CO2、总烃、水，杂质总含量

电子工业用气体 氩气

GB/T 16945-2009

氩气纯度、氢、氮、氧、CO、CO2、总烃、水，杂质总量，颗粒

电子工业用气体 氨

GB/T 14601-2009

氨纯度、氧、氮、CO、烃（C1~C3)、水分

、氢、CO2、重金属含量

电子工业用氧化亚氮

GB/T 14600-2009

纯度、氨、CO、CO2、烃（C1~C5)、氮、氧、NO、NO2、水

电子工业用六氟化硫

GB/T18867-2014

纯度、氧、氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水分、酸度、可水解氟化物、颗粒